[实用新型]高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置无效
| 申请号： | 200420082617.4 | 申请日： | 2004-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN2729702Y | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 陈建文;高鸿奕;朱化凤;李儒新;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置，其特征在于它的结构是：在激光光源输出光束的前进方向依次设扩束望远镜和第一分束器，该第一分束器的透射光束A与待测的硅单晶单色器成一夹角，其反射光束经第二全反射镜反射而入射到第二分束器再反射进入探测器，该第一分束器的反射光束B经第一反射镜的反射入射到第二分束器，其透射光束B与光束A叠加形成干涉光束，探测器的记录界面垂直于该干涉光束，探测器的信号线接计算机。本实用新型具有高分辨、无损伤、无接触、在线检测的优点，分辨能力达到λ/20。 | ||
| 搜索关键词： | 分辨 接触 在线 检测 同步 辐射 单色 畸变 干涉 装置 | ||
【主权项】：
1、一种高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置，其特征在于它的结构是：在激光光源(1)输出光束的前进方向依次设扩束望远镜(2)和第一分束器(3)，该第一分束器(3)的透射光束A与待测的硅单晶单色器(4)成一夹角，其反射光束经第二全反射镜(7)反射而入射到第二分束器(6)再反射进入探测器(8)，该第一分束器(3)的反射光束B经第一反射镜(5)的反射入射到第二分束器(6)，其透射光束B与光束A叠加形成干涉光束，探测器(8)的记录界面垂直于该干涉光束，探测器(8)的信号线接计算机(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200420082617.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：背袋型便携式计算机
- 下一篇：砂料烘干机及带有砂料烘干机的环保型干砂设备
