[实用新型]高分辨无接触在线检测同步辐射单色器热畸变干涉装置无效
| 申请号： | 200420082617.4 | 申请日： | 2004-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN2729702Y | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 陈建文;高鸿奕;朱化凤;李儒新;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分辨 接触 在线 检测 同步 辐射 单色 畸变 干涉 装置 | ||
【说明书】：
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