[实用新型]射频发射装置及其感应耦合等离子体发生设备无效
| 申请号： | 200420072905.1 | 申请日： | 2004-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN2741318Y | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘利坚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/24;H05H1/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种射频发射装置及其ICP(感应耦合等离子体)发生设备。本实用新型所述的装置中与射频匹配器相连的射频线圈内置于线圈固装件中，且线圈固装件上分别设置有冷却用循环槽，以及降低电磁影响的接地金属盖；本实用新型所述的ICP发生设置为基于该装置实现。因此，本实用新型可以保证射频线圈足够接近反应腔室内部，以使射频线圈辐射的电磁波能量可以以足够高的效率耦合到反应腔室内部；且本实用新型可以保证射频线圈及线圈固装件均可以维持在理想的温度范围内。同时，本实用新型还可以减少了射频线圈工作时对外界的干扰，降低了对周围环境的电磁污染。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 发射 装置 及其 感应 耦合 等离子体 发生 设备 | ||
【主权项】：
1、一种射频发射装置，其特征在于，包括射频匹配器、射频线圈和线圈固装件组成，所述的射频匹配器与射频线圈相连，所述的射频线圈内置于线圈固装件中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200420072905.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
