[实用新型]高品质因子的电感无效
| 申请号: | 200420049974.0 | 申请日: | 2004-05-17 |
| 公开(公告)号: | CN2731652Y | 公开(公告)日: | 2005-10-05 |
| 发明(设计)人: | 陈重辉 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01F17/00 | 分类号: | H01F17/00;H01L27/01;H01L27/00 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王一斌 |
| 地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 一种高品质因子的电感,包括:一基底;一介电层,具有一空气隙,位于上述半导体基底上;一支撑柱,位于上述空气隙中;以及一金属线圈,位于上述空气隙中,并且借由上述支撑柱来支撑。本实用新型金属线圈以空气隙代替二氧化硅,可以大幅降低寄生电感。 | ||
| 搜索关键词: | 品质 因子 电感 | ||
【主权项】:
1.一种高品质因子的电感,其特征在于,包括:一基底;一介电层,具有一空气隙,位于上述半导体基底上;一支撑柱,位于上述空气隙中;以及一金属线圈,位于上述空气隙中,并且借由上述支撑柱来支撑。
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