[实用新型]高温超导薄膜双面蒸镀装置

摘要

一种高温超导薄膜双面蒸镀装置，包括蒸镀区、反应区、真空泵、加热装置、驱动装置、基片承载盘六部分，其特征在于其基片承载盘是由驱动齿轮、底盘、基片夹持机构所组成，驱动齿轮有两面齿，它的侧面齿是驱动装置的旋转啮合区，它的底面齿是将驱动装置的旋转转化为基片夹持机构的旋转啮合区；底盘是用于承载基片夹持机构的承载盘，其上有用来安装基片夹持机构的安装窗口。本实用新型的优越性在于结构紧凑，基片可以在真空环境中自动翻转，节省了降温、升温、抽真空的时间，提高了效率，改善了品质。

主权项

1、一种高温超导薄膜双面蒸镀装置，包括蒸镀区、反应区、真空泵、加热装置、驱动装置、基片承载盘六部分，其特征在于其基片承载盘是由驱动齿轮、底盘、基片夹持机构所组成；驱动齿轮有两面齿，它的侧面齿是驱动装置的旋转啮合区，它的底面齿是将驱动装置的旋转转化为基片夹持机构的旋转啮合区；底盘是用于承载基片夹持机构的承载盘，其上有用来安装基片夹持机构的安装窗口；基片夹持机构包括用来盛放基片的载物盘，包括与驱动齿轮相啮合并与载物盘相联结而将驱动齿轮的旋转转化为载物盘旋转的传动齿轮，包括用来固定传动齿轮和载物盘的紧固螺母，包括用来将外围的载物盘转动传给内部载物盘转动的联轴器；包括用来联结联轴器和载物盘的键，包括用来压紧基片的固定环，包括用来给基片定向的定向弹簧片，包括用来将定向弹簧片固定在固定环上的紧固螺钉以及将固定环固定在载物盘上的紧固螺钉。