[发明专利]优化偏振照明有效
| 申请号： | 200410094712.0 | 申请日： | 2004-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1629731A | 公开（公告）日： | 2005-06-22 |
| 发明（设计）人： | R·索查;D·弗拉格洛;S·G·汉森 | 申请（专利权）人： | ASML蒙片工具有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F17/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;张志醒 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开的概念包括一种对将要形成在基底表面上的图案的照明偏振进行优化的方法。通过如下步骤来优化偏振照明：对于至少两种偏振态确定照明器上的至少一点的照明强度，对于至少两种偏振态确定照明器上的至少一点的图像对数斜率，确定最大图像对数斜率(ILS)其中对于照明器上的至少一点ILS接近零，以及选择相应于对于照明器上的至少一点使ILS最小化的至少两个偏振态的最佳偏振态。对于照明器上的多个点可以重复进行这些步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 优化 偏振 照明 | ||
【主权项】：
1.一种用于优化将在基底表面中形成的图案的照明偏振的方法，包括以下步骤：(a)对于至少两种偏振态，确定照明器上至少一个点的照明强度；(b)对于至少两种偏振态，确定照明器上至少一个点的图像对数斜率；(c)确定最大图像对数斜率(ILS)，其中对于照明器上的至少一个点ILS至少接近于零；(d)对于照明器上至少一个点，选择对应于最大ILS的最佳偏振态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML蒙片工具有限公司，未经ASML蒙片工具有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410094712.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：印刷承印物和印刷方法
- 下一篇：包含免疫原性微颗粒的组合物
