[发明专利]一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液无效
| 申请号： | 200410093246.4 | 申请日： | 2004-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1632552A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 洪婷;张永刚;朱福英 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/28 | 分类号： | G01N27/28;G01N27/44 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一类适用于电化学电容－电压(ECV)方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液，目的在于提高电化学电容－电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。其基本特征在于：基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液；在测量不同导电类型(p型或n型)的锑化物半导体材料时，分别添加酸性溶液或者碱性溶液以形成可靠的电解液—半导体肖特基结，从而达到准确测量的目的。添加的酸性溶液可以是盐酸、酒石酸或冰醋酸等非氧化性酸或它们的混合物，添加的碱性溶液可为氢氧化钠或氢氧化钾与乙二胺四乙酸(EDTA)的混合溶液。在电化学C－V方法测量中采用此电解液测量锑化物材料的剖面载流子浓度，能获得与霍尔等方法测量结果相符的结果，并且具有无毒性、易保存等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一类 用于 测量 锑化物 材料 载流子 浓度 剖面 电解液 | ||
【主权项】：
1.一类用于电化学电容—电压(ECV)方法测量锑化物材料剖面载流子浓度分布的电解液，其特征是以水为溶剂，以酒石酸钾钠为基本溶质，添加酸性或碱性溶液来调节溶液的pH值在3～12范围内，以分别测量n型或p型锑化物半导体材料的载流子浓度。
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