[发明专利]液滴喷出装置、微型阵列的制造方法、及其制造装置

摘要

本发明的目的是提供一种能制造高密度阵列的小型液滴喷出装置。本发明的液滴喷出装置(100)包括：具备收容液体的多个收容室(111)的第一块基板；供给收容室(111)所贮存的液体的供给口(121)；具备多个喷出单元的第二块基板，而该喷出单元含有向由供给口(121)供给的液体付与压力的加压室和将在该加压室加压的液体喷出到外部的喷出口；和夹持在上述第一块基板和第二块基板之间的，具备将上述多个收容室(111)和与其对应多个供给口(121)连接的流路的第三块基板；并通过使上述设在第二块基板上的多个供给口的排列，处于成为交错状配置的位置关系。由此解决了上述课题。

主权项

1.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括：具备多个收容液体的收容室的第一块基板；具备多个喷出单元的第二块基板，所述喷出单元包括接收上述收容室内所贮存的液体供给的供给口、向由该供给口供给的液体付与压力的加压室、和将在该加压室加压的液体喷出到外部的喷出口；和夹持在上述第一块基板和第二块基板之间、并具备流路的第三块基板，所述流路将上述多个收容室和与其对应的多个供给口进行连接；设在上述第二块基板上的多个供给口的排列，处于成为交错状配置的位置关系。