[发明专利]压电型振动传感器无效
| 申请号： | 200410092151.0 | 申请日： | 2004-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1603841A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 大林义昭;安田护;杉森康雄 | 申请（专利权）人： | 星电株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;G01H11/08;G01M7/02;G01C22/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种压电型振动传感器。其由在两个表面上分别形成有电极膜的压电薄膜和在两个表面上分别形成有金属膜的软质板的层叠体形成振动膜，在该振动膜的一个面上安装压重。设置一对用于从两侧支承振动膜的周围边缘部分的框架，通过将这些振动膜和框架放置在一端开放的壳体内，并由基板封闭壳体的开放端，由上述的一对框架支承振动膜的周围边缘部分。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压电型振动传感器，其特征在于，具有：由软质板和在两个表面上形成有电极膜的压电薄膜的层叠体构成的振动膜；支承所述振动膜的周围边缘部分的框架；在所述振动膜中未被所述框架支承的部分的一个面大致中央部分上安装的压重，所述振动膜形成使未被所述框架支承的部分位移的形状。
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