[发明专利]一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩高精度直线驱动器有效
| 申请号： | 200410090867.7 | 申请日： | 2004-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN1619938A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 孟永钢;李翠红;叶子申;田煜 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H02N2/04 | 分类号： | H02N2/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于微机电设备技术领域的一种具有毫米级行程和纳米级定位精度的一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩高精度直线驱动器。该驱动器的基体与底座相连，带V形滑槽的两导轨固定在基体的两个内侧面上，柔性铰链框架两端的V型压头与两导轨的V形滑槽构成滑动配合，压电元件镶嵌在柔性铰链框架的正中间，一组柔性铰链框架和压电元件构成了一个箝位单元；超磁致伸缩元件两端通过两个连接件分别与前后两个柔性铰链框架相联成一体；高精度位移传感器通过连接板与超磁致伸缩元件连接。该驱动器具有结构紧凑、稳定性好的特点。实际运行表明该直线驱动器的有效行程超过5毫米、定位精度达到30纳米。这种驱动器有望在微米纳米精度的制造和检测中得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 压电效应 箝位 超磁致 伸缩 高精度 直线 驱动器 | ||
【主权项】：
1.一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩高精度直线驱动器，其特征在于：所述直线驱动器的基体(2)通过地脚螺栓与底座(1)相连，带V形滑槽的左导轨(6)和右导轨(9)用螺栓固定在基体(2)的两个内侧面上，柔性铰链框架(7)两端的V型压头与左导轨(6)和右导轨(9)的V形滑槽构成滑动配合，压紧螺杆(5)通过固定在基体(2)右边顶上的支撑板(4)的螺纹孔将楔形块(3)紧压在左基体(2)和左导轨(6)之间的斜槽内；压电元件(8)镶嵌在柔性铰链框架(7)的正中间，一组柔性铰链框架(7)和压电元件(8)构成了一个箝位单元，并通过柔性铰链框架(7)两端的V型压头与左导轨(6)和右导轨(9)的V形滑槽构成滑动配合；超磁致伸缩元件(11)两端通过两个连接件(10)分别与前后两个柔性铰链框架(7)相联，构成一体；高精度位移传感器(13)通过连接板(12)与超磁致伸缩元件(11)连接。
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