[发明专利]大尺寸精密板状（半）成品用气密容器有效
| 申请号： | 200410090472.7 | 申请日： | 2004-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1618713A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 福井干夫;新井至郎;阿部贵之 | 申请（专利权）人： | 网塑有限公司;吴羽化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B65D85/86 | 分类号： | B65D85/86;B65D85/30;B65D53/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸精密板状(半)成品用气密容器。所述容器较轻并且总体上由树脂制成，它能够安全地并且以一种气密方式容纳、支承和运输一精密板状(半)成品例如一光掩膜，而不会向其施加一不适当应力，其中所述精密板状(半)成品的大平面尺寸使得用于其的容器的一个半部分极难进行一体式树脂成型。所述容器包括基本相互对称并且分别具有要相互贴靠的密封周缘的一主体和一盖件。所述主体和所述盖件中的每一个包括设置在一平面中的多个树脂板状件，所述树脂板状件在它们之间的一中间接合边界处相互贴靠并且在所述接合边界处相互连接。一加强金属带件从外部沿所述接合边界设置且气密性地栓接在所述树脂板状件上。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 精密 成品 气密 容器 | ||
【主权项】：
1、一种大尺寸精密板状(半)成品用气密容器，它包括基本相互对称并且分别具有要相互贴靠的密封周缘的一主体和一盖件，其中所述主体和所述盖件中的每一个包括设置在一平面中的多个树脂板状件，所述树脂板状件在它们之间的一中间接合边界处相互贴靠并且在所述接合边界处相互连接，并且一加强金属带件从外部沿所述接合边界设置且气密性地栓接在所述树脂板状件上。
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