[发明专利]基板输送装置无效
| 申请号： | 200410085642.2 | 申请日： | 2004-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1608961A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 中村郁三;加藤洋 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;G01N21/89 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基板输送装置，其特征在于，具有：以非接触状态使基板(3)浮起的基板浮起部件(1、11、16)；保持在该基板浮起部件(1、11、16)上浮起的所述基板(3)的端部进行输送的输送机构；和基板支撑机构(49)，设置在与所述基板(3)的输送方向(C)正交的方向的所述基板浮起部件(1、11、16)的两侧部或接近该两侧部的位置，从下面侧支撑从所述基板浮起部件侧部(1、11、16)的两侧部在所述正交方向突出的所述基板(3)的两端部。在使基板在基板浮起部件上浮起进行输送时，可以水平地输送基板并且使其不接触基板浮起部件。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板输送装置，其以非接触状态使基板浮起进行输送，其特征在于，具有：以非接触状态使基板浮起的基板浮起部件；保持着在所述基板浮起部件上浮起的所述基板的侧部并强制输送的输送机构；基板支撑机构，设置在与所述基板的输送方向平行的所述基板浮起部件的侧部，从下面侧支撑从所述基板浮起部件侧部在外侧突出的所述基板的侧部。
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