[发明专利]压电膜元件及其制造方法和液体吐出头有效
| 申请号： | 200410082102.9 | 申请日： | 2004-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN1636728A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 中西宏一郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/135;B41J2/01 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种压电膜元件及其制造方法和液体吐出头。在作为例如液体吐出头的振动板的基体(11)上，形成由阳极氧化等形成的多孔硅等的多孔层(12)，在其上外延生长单晶薄膜(13)。在单晶薄膜(13)上层叠下电极(14)、压电膜(15)、上电极(16)，通过加热处理使压电膜(15)单晶化或成为高取向的多晶体，通过夹有多孔层(12)，可以缓和由基体(11)和压电膜(15)之间的热膨胀差造成的应力。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 液体 吐出 | ||
【主权项】：
1.一种压电膜元件，其特征在于包括：基体；在该基体上形成的多孔层；在该多孔层上形成的单晶或单一取向性的薄膜；以及在该薄膜上形成的压电膜。
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