[发明专利]离子源中的阴极和反阴极装置无效
| 申请号： | 200410080877.2 | 申请日： | 2004-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1610051A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | A·J·默雷尔;R·D·戈德堡 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及离子源，其包括适用于离子注入机的阴极和反阴极。本发明提供了一种离子源，包括真空室；其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在电子轨迹中的反阴极；分别与阴极和反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向真空室外部的真空通路；以及位于真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过该真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以改变反阴极相对于阴极的电势。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 中的 阴极 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，包括：真空室；电弧室，其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在所述电子轨迹中的反阴极；分别与所述阴极和所述反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向所述真空室外部的真空通路；以及位于所述真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过所述真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以改变所述反阴极相对于所述阴极的电势。
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