[发明专利]钛酸锶钡介质靶的制备方法有效
| 申请号： | 200410065774.9 | 申请日： | 2004-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1631842A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 林立强;朱健;吕振中;戴精武 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | C04B35/465 | 分类号： | C04B35/465;C04B35/468;C04B35/47 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 徐冬涛;叶立剑 |
| 地址： | 210016江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明在制备钛酸锶钡靶材的原材料中添加少量的发泡剂或微量的助泡剂，在制靶烧结过程中使这类添加剂均匀地产生气泡而基本不留残渣，在最终的靶材制成品中，均匀地产生大量的微孔，具备这种微孔结构的靶材可极其有效地吸收、消除由于严酷的磁控溅射加热条件所产生的内应力，显著地提高它的热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸锶钡 介质 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种钛酸锶钡介质靶的制备方法，其特征在于该制备方法包括以下步骤：a.按要求配制钛酸锶钡介质材料，并研磨成颗粒直径≤1微米的超细粉；b.通过模压在1200～1250℃、2～4小时烧结预成型，并重复以上步骤至少一次，最后将以上的钛酸锶钡靶再次制成颗粒直径≤1微米的超细粉，作为母体；c.将在加温中能产生气体的发泡剂研磨成颗粒直径≤5微米的微粉；d.按5～30％摩尔比将发泡剂微粉均匀掺杂到以上钛酸锶钡超细粉的母体中，通过模压并在1250℃～1300℃、4～6小时烧结成型，最终制成具有密集微孔的靶材。
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