[发明专利]直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 200410064748.4 | 申请日： | 2004-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1588099A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;陈宁娟 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/04 | 分类号： | G01R21/04;B81C3/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 直接加热终端式微电子机械微波功率传感器及其制备方法是利用终端负载的形式实现功率吸收并转化为热量，以测量温度的方式测得输入功率的结构，该结构利用热电偶充当终端负载，将由共面波导上输入的能量转化为热量，再转化为电压的方式测得微波功率的大小，在结构上该传感器包括衬底，共面波导地线，共面波导信号线，金热电偶臂，AlGaAs热电偶臂，焊盘，欧姆接触，介质；制造步骤为：准备GaAs衬底，淀积AlGaAs，离子注入进行掺杂，光刻AlGaAs并刻蚀出热电偶臂，淀积AUGE共晶体，Ni和Au，光刻、高温热退火形成欧姆接触，淀积SiON介质层，淀积金属并光刻出共面波导和部分热电偶臂，淀积介质层，制作焊盘。 | ||
| 搜索关键词： | 直接 加热 终端 式微 电子机械 系统 微波 功率 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种直接加热终端式微电子机械微波功率传感器，其特征在于该结构利用热电偶充当终端负载，将由共面波导上输入的能量转化为热量，再转化为电压的方式测得微波功率的大小，在结构上该传感器包括衬底(1)，共面波导地线(2、3)，共面波导信号线(4)，金热电偶臂(5、6)，AlGaAs热电偶臂(7、8)，焊盘(9、10、11、12、13)，欧姆接触(14、16、17)，介质(15)；其中，AlGaAs热电偶臂(7、8)、介质(15)直接位于衬底(1)上，共面波导地线(2、3)、共面波导信号线(4)位于介质(15)中间，共面波导地线(2、3)、共面波导信号线(4)由焊盘(9、10、11、12、13)连接引出；共面波导信号线(4)的左端接焊盘(10)，右端接两支路，其中一支路接金热电偶臂(5)，金热电偶臂(5)的另一端的下端接欧姆接触(14)，欧姆接触(14)的下端接AlGaAs热电偶臂(7)，AlGaAs热电偶臂(7)与焊盘(12)相接；共面波导信号线(4)的另一支路的右端的下端和金热电偶臂(6)分别通过欧姆接触(16、17)与下端的AlGaAs热电偶臂(8)相接，金热电偶臂(6)的右端与共面波导地线(2)相连，共面波导地线(2)与焊盘(12)相连。
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