[发明专利]图案检查方法和设备及图案对准方法无效
| 申请号： | 200410060089.7 | 申请日： | 2004-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1576782A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 服部新一;井田彻;松野修三 | 申请（专利权）人： | 日本亚比欧尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01R31/00;G06F17/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一种图案检查方法中，将充当参考的主图案和由摄像机所感知的要测量图案的连续色调图像进行对准。根据主图案来至少检测在要测量图案的连续色调图像中的基体的位置。根据与基体的至少密度值的差值，设置至少一个阈值。根据所设置阈值对要测量图案的连续色调图像进行二元化。通过将要测量的二元化图案与主图案进行比较来检查要测量的图案。还公开了一种图案检查设备和对准方法。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 检查 方法 设备 对准 | ||
【主权项】：
1.一种图案检查方法，其特征在于包括：对准步骤(图1：S1 04)，用于对准充当参考的主图案和由摄像机所感知的要测量图案的连续色调图像；位置检测步骤(图1：S105)，根据主图案来检测在要测量图案的连续色调图像中的基体的至少一个位置；阈值设置值步骤(图1：S106)，用于根据与基体的至少一个密度值的差值，设置至少一个阈值(图7A&7C：SH1，图12A&12C：SH1，SH2，SH3，图13A&13B：SH1，SH2，SH3)；二元化步骤(图1：S107)，用于根据所设置阈值对要测量图案的连续色调图像进行二元化；以及检查步骤(图1：S108)，用于通过将要测量的二元化图案与主图案进行比较来检查要测量的图案。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本亚比欧尼克斯股份有限公司，未经日本亚比欧尼克斯股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410060089.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：底部发射型电致发光显示器
- 下一篇：具有线性夹的安全标签
