[发明专利]边沿反射型表面声波器件的频率特性调节方法与制造方法

摘要

一种调节边沿反射型表面声波器件频率特性的方法，包括获得具有压电基片的边沿反射型表面声波器件的频率特性的步骤。边沿反射型表面声波器件的一对压电基片边沿限定了其间的预定距离。接着，在一对位置的至少一个位置上切割压电基片，当边沿反射型表面声波器件的最终频率特性要高于得到的频率特性时，该位置限定的距离便短于预定距离；而当边沿反射型表面声波器件的最终频率特性要低于得到的频率特性时，该位置限定的距离则长于预定距离。

主权项

1.一种制造边沿反射型表面声波器件的方法，所述边沿反射型表面声波器件利用其两个相对边沿上的剪切水平型表面声波反射，所述方法包括步骤：在压电基片上制成多个交指换能器，以配置多个边沿反射型表面声波器件，所述多个边沿反射型表面声波器件中的每一个都包括含有多个电极指的至少一个叉指换能器；通过在形成于所述压电衬底上的至少一个叉指换能器的相对两侧上制成一对边沿，制成所述多个边沿反射型表面声波器件中至少一个的两个相对的边沿，并已经制成了所述两个相对的边沿的多个边沿反射型表面声波器件中至少一个的频率特性；在不与所述多个边沿反射型表面声波器件中至少一个的所述两个相对的边沿的制成位置相对应的位置处，制成所述多个边沿反射型表面声波器件中另一个的两个相对边沿，从而修正所述频率特性与希望的特性间的偏差，所述多个边沿反射型表面声波器件中的所述另一个被配置在所述压电衬底的剩余部分处；其中所述至少一个叉指换能器是具有15到80对电极的单电极型叉指换能器，且为了制成被配置在所述压电衬底的剩余部分处的所述多个边沿反射型表面声波器件中另一个的两个相对边沿，从而修正所述频率特性与希望的特性间的偏差，将在表面声波的传播方向的外侧与同所述叉指换能器的每个最外侧电极指相邻的电极指中心相隔开λ/2的位置设置为基准位置；依据电极的对数，根据图2来调整频率。