[发明专利]平板显示器中使用的薄膜晶体管所用的新颖导电材料有效
| 申请号： | 200410039942.7 | 申请日： | 2004-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1530726A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | 金泰成 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;H01L29/786 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种用于TFT显示器中导电元件的结构。该结构是基于铝的并且经过热处理。热处理后，由于存在钛层而不会形成小丘。此外，由于在铝与钛层之间存在TiN扩散层而不形成TiAl3。这种新颖结构具有低电阻率，因此适用于采用薄膜晶体管来驱动像素的大型显示器。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 显示器 使用 薄膜晶体管 所用 新颖 导电 材料 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，它包括源极、漏极、栅极和半导体层，其中所述源极、所述漏极和所述栅极中至少一种包括基于铝的金属层、钛层以及插在所述钛层和所述基于铝的层之间的防扩散层。
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