[发明专利]包括采用热管制造的冷却装置的烘干系统

摘要

提供一种包括使用热管制造的冷却装置的烘干系统。在包括其上放置有一个将要进行烘干的晶片的板和对板进行加热的加热器的烘干系统中，冷却装置包括：冷却元件，设置成与板相对，同时加热器在板和冷却元件之间，并且使用内部冷却剂的汽化对板进行冷却；冷却剂存放箱，当对板进行冷却时给冷却元件供应冷却剂，当板被加热时存放冷却剂；冷却水存放箱，当对板进行冷却时使冷却水循环通过冷却元件，以将供应给冷却元件内的冷却剂的温度保持恒定；冷却水供应管线，其是冷却元件内的冷却水的流径，并且使冷却元件与冷却水存放箱相互连接。整个烘干板能均匀地加热和冷却，并且冷却所需要的时间显著地由几分钟减少到几十秒。

主权项

1.一种烘干系统，包括其上放置有将要进行烘干的晶片的板，用于对所述板进行加热的加热器，用于对板进行冷却的冷却装置，其中所述冷却装置包括：冷却元件，放置成与该板相对，同时加热器在板和冷却元件之间，并且所述冷却元件使用其内的冷却剂的汽化来对所述板进行冷却；冷却剂存放箱，当对板进行冷却时给冷却元件提供冷却剂，当对板进行加热时存放冷却剂；恒温元件，当对板进行冷却时，保持供应给冷却元件内的冷却剂的温度处于恒定。