[发明专利]烘烤系统无效
| 申请号： | 200410032542.3 | 申请日： | 2004-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1536446A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 李瞳雨;李晋成;金商甲;申东和;金兑圭 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种烘烤系统，包括：加热管，在其顶表面上装载了将被烘烤的晶片，其中填充了预定量的工作流体，在其侧面和顶面上形成提供工作流体的芯子；加热器，其用于通过加热工作流体来加热顶表面；辅助冷却系统，其包含液体冷却液，所述液体冷却液通过循环将与来自热管的工作流体交换；连接管，用于连接加热管和辅助冷却系统以使工作流体和液体冷却液循环；和控制单元，其安装在连接管上控制经由连接管的流体流动。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 系统 | ||
【主权项】：
1.一种烘烤系统，包括：一加热管，在其预表面上装载了将被烘烤的晶片，其中填充了一预定量的工作流体，在其侧面和顶面上形成用于提供所述的工作流体的芯子；一加热器，其用于通过加热所述的工作流体来加热所述的顶表面；一辅助冷却系统，其包含将通过循环与来自所述的加热管的所述的工作流体交换的一液体冷却液；一连接管，其用于连接所述的加热管和所述的辅助冷却系统，以使所述的工作流体和所述的液体冷却液循环；和一控制单元，其安装在所述的连接管上，以控制通过所述的连接管的流体的流动。
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