[发明专利]干燥薄膜光阻剂无效
| 申请号： | 200410029534.3 | 申请日： | 2004-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1601380A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 罗伯·K·巴尔;艾加多·安苏尔;丹尼尔·E·伦迪 | 申请（专利权）人： | 美商长兴科技公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟;戈泊 |
| 地址： | 美国弗*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种干燥薄膜光阻剂包括官能性聚合物。该官能性聚合物具有α，β－不饱和基团和当暴露于光性辐射时产生游离基的基团。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 薄膜 光阻剂 | ||
【主权项】：
1.一种包含聚合物的干燥薄膜光阻剂，所述聚合物具有α，β-不饱和性和当所述干燥薄膜光阻剂暴露于光性辐射时能产生游离基的基团，所述聚合物具有至少1000道尔顿的平均分子量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美商长兴科技公司，未经美商长兴科技公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410029534.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
