[发明专利]基板处理装置及处理方法有效
| 申请号： | 200410027658.8 | 申请日： | 2004-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1707314A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | 詹育颖;王敬龙;许文诚;曾增魁;邓振坤;谢和利 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置，包括一利用处理液处理基板的洗净设备、一显影设备及处理液回收系统，该显影设备包括一显影部、一预清洗部、一清洗部及一后清洗部，该处理液回收系统设于洗净设备与显影设备之间，将由洗净设备排出的处理液导入显影设备实现处理液再利用。本发明同时提供使用该基板处理装置处理基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，包括一洗净设备及一显影设备，其特征在于：该洗净设备与显影设备之间设有一处理液回收系统，将由洗净设备排出的处理液导入显影设备再利用。
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