[发明专利]声表面波液相阵列传感器及其敏感膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 200410015906.7 申请日: 2004-01-14
公开(公告)号: CN1558226A 公开(公告)日: 2004-12-29
发明(设计)人: 叶学松;樊海涛;杨明艳;王平 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: G01N29/02 分类号: G01N29/02
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 代理人: 林怀禹
地址: 310027浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种声表面波液相阵列传感器及其敏感膜的制备方法,该传感器由多个声表面波延迟线传感器组成,通过对延迟线作开路、短路的方法可以检测液体的总体电特性参数,通过用激光脉冲沉积(PLD)技术在延迟线上制备敏感薄膜的方法,可以对液体中多种金属离子成分进行分析。本发明可在食品、工业、生物医学(如血液、体液)等领域中对液体的电特性以及多种金属离子进行定性和定量的检测。
搜索关键词: 表面波 阵列 传感器 及其 敏感 制备 方法
【主权项】:
1、一种声表面波液相阵列传感器,包括铜板(1)、压电基底(2)、插指电极对、延迟线通道,其特征在于:所述的插指电极对有n对,延迟线通道有n个,包括通过暴露延迟线上的压电基底形成的1个开路通道(8)、通过用金属材料短路延迟线形成的1个短路通道(7)和通过脉冲激光沉积技术在n-2个延迟线上的压电材料上制备对不同金属敏感的敏感膜(4)形成n-2个敏感通道(6),各个通道按Y方向依次顺序并联组成在同一个压电基底上;延迟线四周装有保护叉指电极的密封环(3),密封环(3)上装有检测腔盖(9),检测腔(9)盖两端装有开液体进水口和出水口的塑胶导管(10、11)。
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