[发明专利]投影装置以及投影方法无效
| 申请号： | 200410011836.8 | 申请日： | 2004-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1601322A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 虫鹿由浩 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供可以通过在根据图形数据进行描绘时以调制光的相位进行移位，来提高清晰度的投影装置以及投影方法。本发明的投影装置是具备空间光调制器(微镜阵列3)和投影光学系统(5)的投影装置，其中空间光调制器接收表现要形成在投影面上的图形的图形数据的输入、并根据图形数据空间地调制入射光；投影光学系统(5)将被空间光调制器反射的光缩小投影在投影面上。空间光调制器具有根据图形数据而被驱动的多个微镜(3b)的阵列、支撑多个微镜(3b)的阵列的基板(3a)、以及进行多个微镜(3b)的各自的、相对于基板(3a)倾斜以及/或者向相对于基板(3a)垂直的方向的变位的驱动部(3c)。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种投影装置，具备空间光调制器和投影光学系统，上述空间光调制器，接收表现要形成在投影面上的图形的图形数据的输入，并根据上述图形数据空间地调制入射光；上述投影光学系统，将被上述空间光调制器反射的光缩小投影在上述投影面上；其中：上述空间光调制器具有根据上述图形数据而被驱动的多个微镜的阵列，支撑上述多个微镜的阵列的基板，以及使上述多个微镜的每一个的、相对于上述基板的倾斜以及向相对于上述基板的垂直方向的变位按照各个微镜变化的驱动部。
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