[发明专利]光照射装置

摘要

本发明是一种用于激光退火装置的光照射装置，具备：将1条激光分割为n条激光的第1分割部(16)及第2分割部(20)；用来将从第1分光部(16)射出的第m(m为大于等于1小于等于n的整数)条激光与从第2分光部(20)射出的第m条光束合成的合成部(21)。第1分光部(16)与第2分割部(20)由互相相同的光学部件构成，并且配置于相互反转的位置。

主权项

1.一种光照射装置，其特征在于，具备：第1出射单元，其光学结构具有将光束透射和反射后分割为透射光和反射光的1个或以上的光分离面，1条光束射入后，通过使射入的1条光束经过上述1个或以上的光分离面，生成n条(n是大于等于2的自然数)光束；第2出射单元，其光学结构与上述第1出射单元相同，1条光束射入后，通过使射入的1条光束经过上述1个或以上的光分离面，生成n条光束；光合成单元，从上述第1出射单元射出的n条光束与从上述第2出射单元射出的n条光束射入其中，合成相互的1束光线的彼此，输出n条光束，上述光合成单元针对由上述第1出射单元和第2出射单元生成的各n条光束，按照其光束生成通路中的因反射及透射所产生的光路长度的由短至长的顺序，排列为从1到n时，将由第1出射单元生成的第m条(m为1到n之间的任意整数)光束与由第2出射单元生成的第(n-m+1)条光束在同轴上进行合成。