[发明专利]用微波等离子体在热塑性材料容器表面上涂覆涂层的方法和设备有效
申请号: | 200380104400.7 | 申请日: | 2003-11-25 |
公开(公告)号: | CN1717961A | 公开(公告)日: | 2006-01-04 |
发明(设计)人: | 让-米歇尔·里于斯;Y·佩内尔 | 申请(专利权)人: | 西德尔公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46;C23C16/04;H01J37/32;B65D23/02;C23C16/511 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 余全平 |
地址: | 法国奥克特*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明涉及通过在接纳容器的圆形真空腔室(1)中用超高频电磁波激励起始气体借助于低压等离子体在热塑性材料容器(3)的一表面上涂覆涂层。相对于超高频电磁波的频率确定所述腔室(1)的尺寸,以便获得在所述腔室内部产生多个电磁场的耦合模式。特别是建立一TM120耦合模式,其在所述腔室内部产生两个中心场(4A,4B),借助于此,可以在所述腔室(1)中同时处理两个容器(3)。 | ||
搜索关键词: | 微波 等离子体 塑性 材料 容器 表面上 涂层 方法 设备 | ||
【主权项】:
1.通过在接纳容器的圆形真空腔室(1)中用超高频电磁波激励起始气体借助于低压等离子体在热塑性材料容器(3)的一表面上涂覆涂层的方法,其特征在于,相对于超高频电磁波的频率确定所述腔室(1)的尺寸,以便获得在所述腔室内部产生多个电磁场的耦合模式,借助于此,可以在所述同一腔室(1)中同时处理各自的多个容器(3)。
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