[实用新型]用于扫描隧道显微镜的步进电机的容性定性传感器无效
| 申请号： | 200320103121.6 | 申请日： | 2003-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN2709942Y | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 梁学锦;陈东敏;薛其坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01D5/24 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于扫描隧道显微镜的步进电机的容性定位传感器。该传感器为至少一个平板型电容器，该至少一个的平板型电容器的第一极板位于步进电机的底座的上表面，该电容器的第二极板位于步进电机的移动块的下表面。采用本实用新型的步进电机可通过测量容性定位传感器的电容值来测量电机的位移量，并在几毫米的范围内达到纳米尺度的精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 隧道 显微镜 步进 电机 定性 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于扫描隧道显微镜的步进电机的容性定位传感器，其特征在于，该传感器为至少一个平板型电容器，所述至少一个的电容器包括平行布置的第一极板和第二极板，第一极板和第二极板之间可相对平行移动；所述至少一个电容器的第一极板和第二极板之间的平行移动引起电容值的变化，该电容值的变化与第一和第二极板之间的位移量对应。
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