[实用新型]扩散系统中的双杆式推拉装置无效
| 申请号： | 200320101703.0 | 申请日： | 2003-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN2661711Y | 公开（公告）日： | 2004-12-08 |
| 发明（设计）人： | 王茂林;赵学文 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扩散系统中的双杆式推拉装置，其结构由双杆式舟、分立夹持装置、位置调节机构、推拉机构与炉门装置组成；双杆式舟为梯型，为两只固定臂中间连有横管结构；这种结构承载硅片稳固、强度较高。分立夹持装置由两组固定夹块、两组活动夹块及其联接螺钉组成；固定夹块与活动夹块分别夹住双杆式舟的两只固定臂，这种结构由于加工精度及误差对夹持的影响很小，不会造成双杆舟的损坏。分立夹持装置固定于位置调节机构上随推拉机构一同移动。实现了自动化，可见本实用新型操作简单、使用可靠、不损坏产品，同时又不会对设备(这里指舟)造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 系统 中的 双杆式 推拉 装置 | ||
【主权项】：
1、一种扩散系统中的双杆式推拉装置，其特征在于由双杆式舟(1)、分立夹持装置、与推拉机构组成；双杆式舟(1)为梯型，为两只固定臂(2)中间连有横管(3)；所述的分立夹持装置由两组固定夹块(4)与两组活动夹块(5)组成；固定夹块(4)与活动夹块(5)分别夹住双杆式舟(1)的两只固定臂(2)，分立夹持装置随推拉机构一同移动。
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