[发明专利]研磨液再利用装置及其系统

摘要

一种研磨液再利用装置及其系统，应用于化学机械研磨制程，该系统包含研磨液循环管路、至少一连接该研磨液循环管路的研磨液供给单元、若干个连接该研磨液循环管路的研磨液再利用装置、及若干个分别连接该研磨液再利用装置的化学机械研磨单元；其中该装置包括回收已过滤的研磨液的回收泵、及抛弃过滤排出的废液与废气的排废单元。

主权项

1、一种研磨液再利用装置及其系统，应用于化学机械研磨制程，该系统包含研磨液循环管路、至少一连接该研磨液循环管路的研磨液供给单元、若干个连接该研磨液循环管路的研磨液再利用装置、及若干个分别连接该研磨液再利用装置的化学机械研磨单元；该装置包括：本体，具有连接该研磨液循环管路的研磨液入口、排气口、研磨液回收口、排废口、及连接于该化学机械研磨单元的研磨液出口；过滤单元，设置于该本体内、并滤除由该研磨液入口导入的研磨液所含的研磨颗粒；回收泵，一端连接该本体的该研磨液回收口、另一端连接于该研磨液循环管路；及排废单元，分别连接该本体的该排废口及于外部处理系统，用以抛弃由该本体排出的废液；其中，该本体具有贮存空间，容置经由该过滤单元滤除研磨颗粒后的该研磨液；该回收泵由该研磨液回收口抽回该贮存空间中已过滤的该研磨液，并传送至该研磨液循环管路，以供该制程的重复使用。