[发明专利]导光板模仁制造方法无效
| 申请号： | 200310117564.5 | 申请日： | 2003-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1629689A | 公开（公告）日： | 2005-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02F1/13357;B22D21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种导光板模仁制造方法，包括以下步骤：提供一基板，该基板具有一表面；涂覆光阻层在基板表面；用光源对光阻层进行曝光，控制光源的曝光强度，其曝光强度分布曲线与预定图案的凸凹相一致；对该经过曝光的光阻层进行显影，得到具有变化厚度光阻层的基板；对该基板进行蚀刻，得到具有预定图案的导光板模仁。本发明可减少光罩的使用及不同光罩之间的制程造成导光板模仁上图案相互干扰的现象，并提高导光板模仁的精准度及导光板良率、生产效率及品质。 | ||
| 搜索关键词： | 导光板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种导光板模仁制造方法，其包括以下步骤：提供一基板，该基板具有一表面；涂覆光阻层在该基板表面；用光源对光阻层进行曝光，控制光源的曝光强度，使其曝光强度分布与预定得到图案的凸凹相一致；对该经过曝光的光阻层进行显影，得到具有相应图案光阻层的基板；对该基板进行蚀刻，得到具有预定图案的导光板模仁。
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