[发明专利]具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法无效
| 申请号： | 200310102937.1 | 申请日： | 2003-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1499715A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 藤本晴彦;和贺聪;佐藤崇;尾崎恭辅;松尾裕;池田刚;金子一明;工藤拓夫 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯电气株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电力 弹性 表面波 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种弹性表面波元件，具有压电衬底和在所述压电衬底上形成薄膜的电极部，其中：所述电极部具有梳齿状电极部和连接在所述梳齿状电极部上的连接电极部，所述梳齿状电极部具有由Ta构成的第一底层、挨着所述第一底层的上表面层叠的Cu层或CuM合金层，所述元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上。
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