[发明专利]TFT阵列基板、液晶显示器件、TFT阵列基板和液晶显示器件的制造方法以及电子装置无效

专利信息
申请号: 03820547.5 申请日: 2003-08-29
公开(公告)号: CN1679171A 公开(公告)日: 2005-10-05
发明(设计)人: 藤井晓义;中林敬哉;越智久维;原猛;斋藤裕一 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L21/336;G02F1/1368;G09F9/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 陈瑞丰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种TFT阵列基板包括薄膜晶体管部件,其中栅极形成在基板上,半导体层经栅极绝缘层形成在栅极上。这种TFT阵列基板的半导体层具有通过滴落液滴形成的形状。因而,可以通过滴落液滴直接形成半导体层或用于形成半导体层的抗蚀剂层。由此,本发明允许使用喷墨法,因而减少了制造工艺的成本和数量。
搜索关键词: tft 阵列 液晶显示 器件 制造 方法 以及 电子 装置
【主权项】:
1、一种TFT阵列基板,包括:薄膜晶体管部件,其中栅极形成在基板上,半导体层经栅极绝缘层形成在栅极上,半导体层具有通过滴落液滴形成的形状。
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