[发明专利]微波等离子体发生器的气体管端盖无效
| 申请号： | 03820376.6 | 申请日： | 2003-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1679136A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | A·王 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 等离子体发生器(10)，包括伸展在气体源与处理室之间的等离子体管(16)、该等离子体管一端上的端盖(80)和等离子体管与端盖之间围绕等离子体管延伸的密封(40、42)。该端盖包括伸入等离子体管中的突起(84)。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 发生器 气体 管端盖 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体发生器，包括伸展在气体源与处理室之间的等离子体管；该等离子体管一端上的端盖和等离子体管与端盖之间的围绕等离子体管延伸的密封，该端盖包括伸入等离子体管中的突起。
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