[发明专利]线性酚醛清漆树脂混合物和包含它的光敏组合物无效
| 申请号： | 03808173.3 | 申请日： | 2003-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1646628A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | J·N·埃尔贝克;A·D·迪奥斯 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料日本株式会社 |
| 主分类号： | C08L61/06 | 分类号： | C08L61/06;G03F7/023;G03C1/52 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碱溶性成膜线性酚醛清漆树脂混合物，其包含至少两种线性酚醛清漆树脂，每种线性酚醛清漆树脂包含由至少一种酚类化合物与至少一种醛源生成的加成缩合反应产物，其中用于第一线性酚醛清漆树脂的酚类化合物包含90－100摩尔％间甲酚，和用于第二线性酚醛清漆树脂的酚类化合物包含低于50摩尔％的间甲酚。还公开了一种光敏组合物，其包含以下物质的掺混物：a)上述线性酚醛清漆树脂混合物；b)至少一种邻醌光活性化合物；和c)至少一种光刻胶溶剂。还公开了一种通过在基材上形成图像而生产微电子器件的方法，其包括：a)提供上述光敏组合物；b)然后用步骤a)得到的光刻胶组合物涂覆合适的基材;c)然后，热处理涂覆基材直至基本上所有的溶剂被去除；成像式曝光涂覆基材；并随后用合适的显影剂去除涂覆基材的成像式曝光或未曝光区域。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 酚醛 清漆 树脂 混合物 包含 光敏 组合 | ||
【主权项】：
1.一种碱溶性成膜线性酚醛清漆树脂混合物，其包含至少两种线性酚醛清漆树脂，每种线性酚醛清漆树脂包含由至少一种酚类化合物与至少一种醛源生成的加成缩合反应产物，其中用于第一线性酚醛清漆树脂的酚类化合物包含90-100摩尔％间甲酚，和用于第二线性酚醛清漆树脂的酚类化合物包含低于50摩尔％的间甲酚。
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