[发明专利]改进的具有精确边界点检测的化学机械抛光系统无效
| 申请号： | 03806040.X | 申请日： | 2003-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN101193728A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王雨春;伯纳德·M·弗雷;布伦特·M·巴索尔;霍马扬·塔里;道格拉斯·扬;布雷特·E·迈克格拉特;穆克施·德赛;艾弗莱恩·维拉兹奎兹 | 申请（专利权）人： | ASM纳托尔公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B49/02;B24B49/12;B24B49/16;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘志平 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于抛光一工件的装置，该装置包括一个工件夹具(104)，其被构造成能够夹持该工件的结构形式；一个抛光元件(102)，其被构造成能够设置在工件的一表面附近以便通过该抛光元件的一正面抛光所述表面的结构形式；以及一个具有多个压力区(z1－z4)的压板(600)，该压板被构造成能够选择性地向所述抛光元件施加压力从而使抛光元件在选择的压力作用下接触该工件的表面的结构形式。在本发明的另一个实施例中，该装置还包括一个连接到该压板上的压力控制器(564)，该压力控制器被构造成能够选择性地调节压力区(z1－z4)的结构形式。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 具有 精确 边界 检测 化学 机械抛光 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光一工件的装置，该装置包括：一个工件夹具，其被构造成能够夹持该工件的结构形式；一个抛光元件，其被构造成能够设置在工件的一表面附近以便通过该抛光元件的一正面抛光该工件表面的结构形式；以及一个具有多个压力区的压板，该压板被构造成能够选择性地向所述抛光元件施加压力从而使抛光元件在选择的压力作用下接触该工件表面的结构形式。
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