[发明专利]基片毛细干燥法无效
| 申请号： | 03805652.6 | 申请日： | 2003-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1638882A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | L·J·麦兰德 | 申请（专利权）人： | 艾奎昂有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及干燥基片的装置及方法。发明的装置包括：在加工槽中用来支撑至少一个基片的物体支撑部件，加工槽中有一个或多个支撑部分含有毛细材料。本发明方法是在加工槽中，将湿基片与毛细材料接触除去湿基片中的液体。另一方面，本发明是一种在加工槽中干燥至少一种具有表面的基片的方法，该方法包括：将基片浸入在具有液面的液体中；在加工槽中支撑该浸入的基片；在液面上方提供一种干燥气体；降低液面或者提升基片使得液面低于基片，从而除去基片表面的大部分液体；用毛细材料除去基片表面留下的液体。 | ||
| 搜索关键词： | 基片毛细 干燥 | ||
【主权项】：
1.用来干燥至少一个基片的装置，包括：用来在加工槽中支撑至少一个基片的物体支撑部件，该支撑部件具有由毛细材料构成的一个和多个支撑部分。
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