[发明专利]生产线后端数据挖掘与处理工具数据挖掘的相关性

摘要

本发明的一个实施例是一种处理工具优化系统，其包括：(a)数据挖掘引擎，该数据挖掘引擎分析生产线后端成品率数据，以识别与低成品率有关的一个或多个处理工具；与(b)响应上述分析的输出，分析来自一个或多个处理工具的处理工具数据，以识别与低成品率有关的一个或多个处理工具的参数。

主权项

1.一种处理工具优化系统，包括：一个数据挖掘引擎，其分析生产线后端成品率数据，以识别与低成品率相关联的一个或多个处理工具；和响应得自所述分析的输出，分析来自所述一个或多个处理工具的处理工具数据，以识别与低成品率相关联的一个或多个处理工具参数。