[实用新型]微尺寸探针测头无效
| 申请号： | 03260010.0 | 申请日： | 2003-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN2616899Y | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 孙涛;阎永达;董申;王洪祥 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G12B21/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001黑龙江省哈*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种微尺寸探针测头，包括微探针、电容测微仪，其特征在于碟形测头支架中心孔内安装有微探针殷钢支架，带有微探针的微悬臂固定在微探针殷钢支架上，双向调整支架装配在碟形测头支架的两端，双向调整支架分别装有激光器和位置检测器，碟形测头支架的上端安装有精密电极平板和压电陶瓷管，其内部有与精密电极平板有测量间隙的电容测微测量电极。激光器的下部设有准直透镜。本实用新型设计合理，垂直方向位置灵敏度小于±2nm，测量精度高，能够完成微纳米特征的位置与尺寸高精度测量；微探针半径非常尖锐，可达20～30nm，特别适用于微结构尺寸(如微沟槽、微台阶结构等)的测量；最大可以测量的倾斜角度为±30°，可以实现三维测量。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 探针 | ||
【主权项】：
1.一种微尺寸探针测头，包括微探针、电容测微仪，其特征在于碟形测头支架(5)中心孔内安装有微探针殷钢支架(3)，带有微探针(1)的微悬臂(2)固定在微探针殷钢支架(3)上，双向调整支架(7)、(9)装配在碟形测头支架(5)的两端，双向调整支架(7)、(9)分别装有激光器(6)和位置检测器(8)，碟形测头支架(5)的上端安装有精密电极平板(10)和压电陶瓷管(11)，其内部有与精密电极平板(10)有测量间隙的电容测微测量电极(12)。
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