[实用新型]具有高强度探针的纳米机械性质测量装置无效

专利信息
申请号: 03253005.6 申请日: 2003-09-27
公开(公告)号: CN2643316Y 公开(公告)日: 2004-09-22
发明(设计)人: 杨友财;吕学智;方得华;苏厚合 申请(专利权)人: 均豪精密工业股份有限公司;杨友财;吕学智;方得华;苏厚合
主分类号: G01N13/16 分类号: G01N13/16
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 代理人: 孙皓晨;王国权
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型是一种具有高强度的扫描探针,主要由一探针、一悬臂梁及一固定架所构成,适于在材料表面做刮痕及硬度试验。其中,悬臂梁具有一第一侧边及对应的一第二侧边,并且探针可粘着于悬臂梁或一体成形于悬臂梁的第一侧边端。悬臂梁的另一端与固定架互相一体成形,且在悬臂梁的第二侧边及悬臂梁与固定架连接的处至少被覆一层硬化膜,即可利用此高强度的探针,应用于原子力显微镜,而求得材料的纳米机械性质。本实用新型的装置亦可将被覆硬化膜的悬臂梁及固定架更换为未被覆硬化膜的悬臂梁及固定架,而检测材料表面的型态。
搜索关键词: 具有 强度 探针 纳米 机械 性质 测量 装置
【主权项】:
1、一种具有高强度的探针,其特征在于包括:一探针;一悬臂梁,该悬臂梁具有一第一侧边及相对应的一第二侧边,该探针配置于该悬臂梁的第一侧边端,并且该悬臂梁的第二侧边被覆至少一层硬化膜;以及一固定架,该固定架具有一第一端及相对应的一第二端,该第一端与该悬臂梁未配置探针的一端互相一体成形,且该悬臂梁与该固定架连接之处被覆至少一层硬化膜。
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