[实用新型]一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置无效
| 申请号： | 03228129.3 | 申请日： | 2003-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN2600809Y | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李晓军;孙洁林;胡钧;李民乾;何品刚;方禹之;吕军鸿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海原子核研究所 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 肖剑南 |
| 地址： | 201800上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置，包括原子力显微镜、函数发生器、示波器等，通过在导电针尖上施加一定的偏压，从而在针尖与样品之间诱导形成电场。这种长程的电场力叠加在范德华力上可以扩大针尖与样品的距离，使针尖在垂直方向上的移动更容易控制，而且可以在不同的高度上稳定成像。通过调节Asp(针尖上所加的力)参数或插入扫描频道中的扫描高度参数来改变针尖高度的两种途径，可得到被测样品的高度。本实用新型结构比较简单，使用方便，使针尖在垂直方向上的移动更容易控制，在柔软的生物样品的高度测量上更有优势，很大程度上消除了针尖对样品的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 原子 显微镜 测量 衬底 样品 高度 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置，包括：扫描管(1)，其上置衬底(2)，衬底(2)上放置柔软的或刚性的样品(3)；样品(3)上方的针尖支架上装一导电针尖(4)，它与一压电陶瓷晶片(7)紧密地结合在一起，并藉由一控制系统(8)控制压电陶瓷晶片(7)，从而带动针尖(4)在一定的驱动频率下振动；激光束(6)聚焦在针尖悬臂背面的镜面上，一个四元的光电二极管(5)用于检测样品(3)扫描时由于样品(3)表面的高低起伏引起的悬臂弯曲造成的反射光束的偏移；其特征在于：还包括函数发生器(11)，用于输出0到±15V、频率为200～300KHz的直流电和交流电，通过同轴电缆线(9)输入到显微镜中，电缆线(9)一头与针尖(4)的支架相连，另一头接地，另外，一示波器(12)通过另一同轴电缆线(10)与函数发生器(11)相连，以跟踪其所输出的电压大小和频率；
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