[发明专利]一种利用等离子体技术的光纤预制棒加工设备

摘要

本发明涉及一种利用等离子体技术的光纤预制棒加工设备，该设备由等离子体谐振腔、同轴线和矩形微波波导管等结构组成，其中采用门钮接触式波导同轴变换结构的微波能量传输变换装置，它是在波导－同轴线变换器中，同轴线内导体在波导管内与底面的门钮式结构环状弹性连接，环状弹性连接通过一特殊的“爪形轴套”实现，保证同轴内导体上下调节时与门钮式结构的紧密接触，而且不改变波导同轴变换装置的性能；接触式有利同轴线内导体散热；还设计有水冷和防泄漏装置，增强冷却和屏蔽效果。

主权项

1.一种利用等离子体技术的光纤预制棒加工设备，包括：一个矩形微波波导管，在其一端设置有固定短路面，另一端连接微波功率发生装置；一个等离子体反应器，为圆柱同轴形谐振腔结构；一个同轴线，由内导体和外导体组成；一个微波透射体，呈套筒状套在同轴线内导体上端，套筒外围与同轴线外导体紧密接触；所述同轴线的内导体上端同微波透射体一起插入所述等离子体反应器耦合，该内导体下端穿过所述矩形波导管；所述同轴线外导体将矩形波导管与等离子体反应器的圆柱同轴形谐振腔连通；所述同轴线外导体与等离子体反应器谐振腔外部具有水冷装置；其特征在于：同轴线内导体从外导体与矩形波导管连通处进入矩形波导管，并且贯穿整个波导管截面、穿过波导管并波导管下侧外壁向下伸出；一个门钮式结构，套在矩形波导管内的同轴线内导体上，该门钮式结构底面与矩形波导管下部管壁紧密接触，在门钮式结构内部设置了水冷管道；一个升降结构，设置在同轴线内导体下端穿出矩形波导管外的部分上，以调节同轴线内导体上端与等离子体反应器圆柱同轴形谐振腔的耦合。