[发明专利]由表面活性剂增强的防止微机械部件电老化的保护方法有效
| 申请号： | 03156788.6 | 申请日： | 2003-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN1495293A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 贝文·斯特普尔;吉尔林·布里亚克 | 申请（专利权）人： | PTS公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电结构，其通过在基片上沉积牺牲材料和结构材料而在一个电附着于基片的部件上形成一个结构层来形成。该结构层的电位高于该部件的电位。至少部分结构材料用保护材料覆盖，该保护材料的电位低于或等于部件的电位。该牺牲材料用一种脱除溶液去除。至少部分保护材料和脱除溶液经过表面活性剂处理，该表面活性剂对该部件的一个表面起作用。 | ||
| 搜索关键词： | 表面活性剂 增强 防止 微机 部件 老化 保护 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成微机电结构的方法，所述方法包括：将牺牲材料和结构材料沉积在一个基片上，以便在一个电附着于所述基片的部件上形成一个结构层，其中所述结构层的电位高于所述部件的电位；用保护材料覆盖至少一部分结构层，其中所述保护材料的电位低于或等于所述部件的电位；和使用一种脱除溶液去除所述牺牲材料，其中至少所述脱除溶液和所述保护材料中的一种经过表面活性剂处理。
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