[发明专利]液滴喷出装置及方法、成膜装置及方法、器件制造方法无效
| 申请号： | 03156733.9 | 申请日： | 2003-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1493456A | 公开（公告）日： | 2004-05-05 |
| 发明（设计）人： | 臼田秀范;中村真一;高野丰;山田善昭 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/00 | 分类号： | B41J2/00;G02B3/00;G02B5/00;G02F1/00;H01J9/00;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种液滴喷出装置及方法，成膜装置及方法、器件制造方法及电子仪器。液滴喷出装置具有规格互不相同的多种液滴喷出头(8)(第1喷出头8a～第3喷出头8c)、对液滴喷出头(8)提供电负载的多个假负载电路(31a～31c)、对应所驱动的液滴喷出头(8)的种类，切换与液滴喷出头(8)连接的假负载电路的模拟开关(32a～32c)。通过构成这样的结构，将不会造成打印品质的下降，能够实现功能液的多样化的液滴喷出，由此可高效率地进行工件处理。 | ||
| 搜索关键词： | 喷出 装置 方法 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种液滴喷出装置，是一种向工件喷出液滴的液滴喷出装置，其特征在于：包括：多种液滴喷出头；具有用于抑制施加与所述液滴喷出头的驱动波形的振荡的电路的多个控制装置；对应从所述液滴喷出头喷出的所述液滴的种类选择出所述多个所述控制装置其中之一的选择装置，通过由所述选择装置所选择的所述控制装置将所述驱动波形施加于所述液滴喷出头。
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