[发明专利]升降式基板处理装置及具有该装置的基板处理系统

摘要

本发明提供一种基板处理装置，其具有从处理线其中一处朝另一处传送基板的功能，且可在传送中有效地处理基板。基板处理装置(10)由外壳体(11)、处理机构(20)和升降机构(40)构成。外壳体(11)具有在上下处并设的基板投入口(11a)和基板排出口(11b)，呈框体状。处理机构(20)内置于外壳体(11)内，包括：容纳并支持从基板投入口(11a)送入的基板、从基板排出口(11b)排出基板的传送－支持机构；支持传送－支持机构的支持架台(21)；使传送－支持机构支持的基板倾斜的基板倾斜机构；设于传送－支持机构上方、将处理流体喷到由基板倾斜机构倾斜的基板上的处理流体喷出机构。升降机构(40)支持处理机构(20)并使其沿上下方向升降，使处理机构(20)经过基板投入口(11a)和基板排出口(11b)。

主权项

1.一种升降式基板处理装置，其特征在于：包括：外壳体，该外壳体具有并设于上下处的基板投入口和基板排出口，呈框体状；处理机构，该处理机构内置于所述外壳体内，该处理机构包括：传送-支持机构，该传送-支持机构容纳并支持从所述基板投入口送入的基板，另一方面，从所述基板排出口排出所述基板；支持架台，该支持架台支持所述传送-支持机构；基板倾斜机构，该基板倾斜机构使由所述传送-支持机构支持的基板倾斜；处理流体喷出机构，该处理流体喷出机构设置于所述传送-支持机构的上方，将处理流体喷出到由所述基板倾斜机构倾斜的基板上；升降机构，该升降机构支持所述处理机构，并使该处理机构沿上下方向升降，使所述处理机构经过所述基板投入口和基板排出口。