[发明专利]声表面波元件、声表面波器件及其制造方法无效
| 申请号： | 03149817.5 | 申请日： | 2003-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN1484378A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 富冈宗子;山下清春;古川光弘 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 陈海红;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种SAW元件，包括在压电基片上形成的多个叉指换能器电极、在其两侧配置的反射器电极以及从多个叉指换能器电极和多个反射器电极导引出的多个焊盘电极，多个焊盘电极具有不与SAW元件的外周区域直接对向的孤立焊盘电极和与外周区域直接对向的邻接焊盘电极，通过至少在切割工序前刻蚀除去连接了孤立焊盘电极与邻接焊盘电极的连接电极，防止因热电效应导致的放电的发生，防止电极的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 元件 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波元件，是包含压电基片、在上述压电基片上形成的多个叉指换能器电极、在其两侧配置的反射器电极、从多个上述叉指换能器电极和多个上述反射器电极导引出的多个焊盘电极以及在多个上述焊盘电极上形成的焊盘增强电极的声表面波元件，其构成为：多个上述焊盘电极具有不与上述声表面波元件的外周区域直接对向的孤立焊盘电极和与上述外周区域直接对向的邻接焊盘电极，至少残留有连接了上述孤立焊盘电极与上述邻接焊盘电极间的连接电极的一部分。
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