[发明专利]白宝石的多弧离子镀金属化无效
| 申请号： | 03147557.4 | 申请日： | 2003-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN1570197A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 袁广江;卢玉华;罗积润;阎旭;吴尔生;郭和忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B41/88 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及电真空器件技术，特别是涉及利用多弧离子镀金属化白宝石，进而实现无氧铜—白宝石高可靠气密非匹配外套封的—种新工艺。本发明利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化，用于无氧铜—白宝石的高可靠气密外套封，其气密性良好，可以避免白宝石高温金属化的一系列技术困难，也可以避免活性金属粉末法涂层在装架过程中容易遭到破坏，易于漏气，成品率低的缺点。本发明工艺简捷，操作方便，成品率高，便于实现工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 宝石 离子镀 金属化 | ||
【主权项】：
1.一种白宝石的多弧离子镀金属化，其特征在于，利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化。
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