[发明专利]基板搬运装置和基板处理装置无效
| 申请号： | 03147208.7 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1461726A | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 岸间泰一郎 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/74 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安;杨松龄 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 第2和第3的内部基板搬运装置(120)、(130)具有夹着水平搬运路径并大体对称配置的一对基板搬运部(120a)、(120b)、(130a)、(130b)，基板搬运部具备：具有保持基板(G)周缘的保持部件(111a)、(111b)的搬运臂部件(122a)、(122b)；调节搬运臂部件相互间隔的臂间隔调节机构(123)；以及在基板搬运方向使臂间隔调节机构滑动的臂滑动机构(125)。采用非搬运时缩小搬运臂部件(122a)、(122b)的相互间隔，让第2内部基板搬运装置(120)退避到抗蚀剂涂布装置(CT)(23a)与减压干燥装置(VD)(23b)之间的办法减小装置的底面占有面积。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 处理 | ||
【主权项】：
1.一种基板搬运装置，具有夹着水平搬运路径大体对称地对向配置的一对基板搬运部，借助于这一对基板搬运部大体水平地保持矩形基板并沿着所述水平搬运路径搬运，其特征是，所述基板搬运部具备：具有形状与矩形基板的周缘形状对应的2根搬运臂部件；安装于所述搬运臂部件，与矩形基板的周缘背面对接并保持该矩形基板的保持部；可动地支持所述2根搬运臂部件，改变所述2根搬运臂部件相互间隔的臂间隔调节机构；以及可动地支持所述臂间隔调节机构，沿着所述水平搬运路径移动所述臂间隔调节机构的臂滑动机构，所述臂间隔调节机构要这样调节，以便在搬运时，使所述2根搬运臂部件的相互间隔适合所述矩形基板的大小，在非搬运时，使所述2根搬运臂部件的相互间隔缩小到比搬运时的相互间隔还窄。
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