[发明专利]鳞状碳纳米管、制备方法和专用装置无效
| 申请号： | 03129171.6 | 申请日： | 2003-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1460638A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 于伟东;张继华;王曦;张福民;柳襄怀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;C23C16/32;C23C14/00;B01J23/74 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及鳞状碳纳米管、制备方法和专用装置。所述鳞状碳纳米管特征在于其外径15～50纳米，内径5～20纳米，长度10～100微米，鳞状实起长度100纳米，宽50纳米，由3～10层呈蜷曲状的多层石墨层片的实起。其制备包括中间层制备、过渡金属催化剂制备和碳纳米管生长三个过程，特征在于通过催化层的过渡金属膜，尤其是铁膜和中间层的晶格失配产生应力，使过渡金属膜破裂成纳米级颗粒。提供的专用装置包括真空系统、加热系统、配气系统、等离子体发生系统和薄膜生长系统，可一次完成包括样品清洗、预处理、中间层沉积、催化剂制备和碳纳米管的生长等工艺过程。制备的鳞状碳纳米管密度高、直径均匀、石墨化程度高，长度由反应时间控制。 | ||
| 搜索关键词： | 鳞状碳 纳米 制备 方法 专用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种鳞状的碳纳米管，其特征在于：它是一种外壁长有鳞状突起的碳纳米管，其外径15～50纳米，内径5～20纳米，长度10～100微米；鳞状突起长度100纳米，宽50纳米，由3～10的石墨层片构成，从根部到顶端布满在整个碳纳米管外壁。
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