[发明专利]抛光装置无效
| 申请号： | 03119891.0 | 申请日： | 2003-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1445060A | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 大田真朗;清水一男 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B39/06 | 分类号： | B24B39/06;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 夏青 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种抛光装置，它包括：一抛光台；一抛光垫，被安装于抛光台上并在其上具有对待抛光工作件抛光的抛光面；一顶环，用于固定工作件并使工作件紧压抛光垫；及一光学传感器，其设置于抛光台中，用以测量形成于工作件上的薄膜之厚度。该抛光垫包括：一衬垫，有一孔界定于其中；一可透光窗口，其设置于孔内，用于使光可通过其中；及一支撑件，用于阻止可透光窗口凸出在抛光垫的抛光面上。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种抛光装置，包括：一抛光台；一抛光垫，被安装于所述的抛光台上，并在其上具有用于对待抛光工作件抛光的抛光面；一顶环，用于固定所述工作件，并使所述工作件紧压所述抛光垫；及一光学传感器，设置于所述抛光台中，用以测量在所述的工作件上形成的薄膜厚度，所述的抛光垫包括：一衬垫，有一孔界定于其中；一可透光窗口，其设置于所述的孔内以允许光通过其中；及一支撑件，用于防止所述可透光窗口凸出在所述抛光垫的抛光面上。
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